FIGグループであるREALIZE株式会社(本社:大分県大分市)は、最先端ロジック半導体の国産化を目指す Rapidus 株式会社(本社:東京都千代田区、以下「ラピダス」)が北海道千歳市に建設する半導体工場(Innovative Integration for Manufacturing、以下「IIM-1」)に自社開発搬送ロボットのAMR「WILL-FA」を導入することが決定しましたので、お知らせいたします。

IIM-1は、自動運転やAIなど次世代の産業に欠かせないとされる2ナノメートル(nm)以下の最先端ロジック半導体を製造する施設で、ラピダスは2025年4月にパイロットラインを稼働し、2027年には量産を開始する計画としております。
今回のAMR「WILL-FA」導入は、材料・部品容器のエリア間搬送業務の自動化を促進するものであり、材料容器の自動搬送をエア・ウォーター株式会社(本社:大阪府大阪市)とクリーンルーム内の部品容器の自動搬送を第一実業株式会社(本社:東京都千代田区)とそれぞれ共同で純国産の搬送ロボットによるソリューションを提案し、2025年の導入が決定したものです。純国産搬送ロボットのメリットでもある柔軟なカスタマイズ対応や手厚いアフターフォローにて最先端の半導体工場の自動化・省人化による生産性向上の一端を担ってまいります。

AMR「WILL-FA」は、自己位置推定と環境地図作成を同時に行うSLAM(Simultaneous Localization And Mapping)技術を用いて、カメラやLiDAR(Light Detection And Ranging)等のセンサーからの情報をもとに画像処理技術と組み合わせることで、周囲の空間情報を認識して自律走行をするとともに、ネットワークやクラウドにより他の機器や施設内設備と連携が可能です。
FIGグループは、ソフトウェアとハードウェアの技術力に加えてIoTの技術力を融合させることで、人とロボットが共生する社会の実現を目指しており、今後も搬送ロボットの技術高度化と自動化ソリューションの拡大により、半導体産業の発展に貢献してまいります。